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低溫等離子體廢氣處理設(shè)備采用低溫等離子體分解氣體污染物時，等離子體中的高能電子起決定性作用。數(shù)萬度的高能電子與氣體分子（原子）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一些列過程，使氣體處于活化狀態(tài)。電子的能量較低時，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)電子平均能量超過污染物分子化學(xué)鍵結(jié)合能時，分子鍵斷裂，污染物分解。

低溫等離子體廢氣處理設(shè)備通過收集管道將廢氣氣體送入等離子凈化設(shè)備內(nèi)，利用低溫等離子體分解氣體污染物的原理對煙霧、異味廢氣進(jìn)行處理，從而達(dá)到消除廢氣異味的目的。

低溫等離子除臭技術(shù)又稱非平衡等離子體技術(shù)，通過在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生大量的高能電子，高能電子與VOC s分子發(fā)生一系列復(fù)雜的等離子體物理和化學(xué)反應(yīng)，從而把有機污染物降解為無毒無害物質(zhì)的一種方法。

低溫等離子體技術(shù)應(yīng)用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩(wěn)定、操作管理簡便、即開即用等優(yōu)點。
①介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生電子能量高，低溫等離子體密度大，達(dá)到常用等離子技術(shù)（電暈放電）的1500倍，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；
②技術(shù)反應(yīng)速度快，氣體通過反應(yīng)區(qū)的速度達(dá)到3-15米/秒，即達(dá)到很好的處理效果，其他技術(shù)氣體通過反應(yīng)區(qū)的速度0.01米/秒都很難達(dá)到的處理效果；
③應(yīng)用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達(dá)80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)；

在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速。